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摘要：本实用新型实施例公开了一种晶圆花篮定位结构，包括：底板、定位机构、升降机构和夹紧机构；定位机构包括第一定位组件和第二定位组件，升降机构和第一定位组件相连，升降机构带动第一定位组件在预设方向往复移动，第二定位组件设置在底板上，第一定位组件和第二定位组件配合以实现晶圆花篮的一次定位；夹紧机构设置在第一定位组件朝向底板的一侧，夹紧机构用于实现晶圆花篮的二次定位。通过本实用新型实施例，可以使得晶圆花篮进入干燥槽后实现精准定位，从而减少晶圆在脱离晶圆花篮过程中产生碎片。
主权项：1.一种晶圆花篮定位结构，其特征在于，包括：底板、定位机构、升降机构和夹紧机构；所述定位机构包括第一定位组件和第二定位组件，所述升降机构和所述第一定位组件相连，所述升降机构带动所述第一定位组件在预设方向往复移动，所述第二定位组件设置在所述底板上，所述第一定位组件和所述第二定位组件配合以实现所述晶圆花篮的一次定位；所述夹紧机构设置在所述第一定位组件朝向所述底板的一侧，所述夹紧机构用于实现所述晶圆花篮的二次定位。
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