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摘要：本发明公开了晶圆清洗机，包括晶圆上下料装置及清洗装置,所述晶圆上下料装置包括晶圆传送装置，所述晶圆传送装置包括晶圆对齐装置。本发明通过晶圆上下料装置、晶圆传送装置、晶圆对齐装置及清洗装置的合理布局、配合工作，使得晶圆的清洁效率高，保证清洁质量。本发明通过在传送装置上设置不同部分用于分别接触清洗前后的晶圆实现固定或夹持，从而避免交叉污染。通过设置晶圆翻转机构及实现对晶圆状态的调节，以便于在不同的设备间传送。通过设置夹头清洗槽实现对夹头的清洗，从而避免夹头对清洗后的晶圆的污染。在清洗槽中设置晶圆托举装置，避免夹头伸进清洗槽。
主权项：1.晶圆清洗机，其特征在于，包括晶圆上下料装置及清洗装置,所述晶圆上下料装置包括晶圆上下料工位及晶圆传送装置，所述晶圆传送装置包括晶圆对齐装置，所述晶圆传送装置位于所述晶圆上下料工位与所述晶圆清洗装置之间，所述晶圆对齐装置位于清洗装置的清洗槽内，所述晶圆传送装置适用于将晶圆送至对齐装置上并进行清洗。
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