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摘要：本申请涉及一种晶圆转移装置，晶圆转移装置包括支撑组件、承托组件和减震组件；支撑组件包括底板和安装于底板的支撑杆，支撑杆沿第一方向延伸；承托组件开设有导向孔，承托组件通过导向孔沿第一方向可移动地套设于支撑杆；减震组件连接于承托组件与底板之间，减震组件在第一方向上可伸缩变形设置。本申请提高了晶圆转移装置的减震、缓冲能力，使得放置有晶圆的承托组件通过减震组件进行减震，增加了晶圆放置在承托组件时进行转移的安全性，能够减少晶圆在运输过程中受到轻微的震动导致损伤的情况，从而改善了晶圆转移易受损的问题。
主权项：1.一种晶圆转移装置，其特征在于，包括：支撑组件，包括底板和安装于所述底板的支撑杆，所述支撑杆沿第一方向延伸；承托组件，开设有导向孔，所述承托组件通过所述导向孔沿所述第一方向可移动地套设于所述支撑杆；减震组件，连接于所述承托组件与所述底板之间，所述减震组件在所述第一方向上可伸缩变形设置。
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百度查询： 宁德时代新能源科技股份有限公司 晶圆转移装置
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