龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本实用新型公开了一种用于晶圆表面焊接工艺的晶圆清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽设有用于装载治具的晶圆治具和用于支撑晶圆治具的支撑结构，所述晶圆治具包括底盘，所述底盘上设有装载台，所述装载台绕所述底盘中心环向设置，其上设有多级台阶，所述台阶的高度由底盘中心向外依次增高，以形成多个用于放置晶圆的夹持区域，每级台阶的台阶面上设有支撑台，所述支撑台沿底盘的周向设有多个；通过装载台的多级台阶设置，可通过选取对应的台阶区域来对不同的直径的晶圆进行夹紧限位，提高晶圆治具的适配性，提高晶圆清洗装置的使用便捷，提高生产效率。
主权项：1.一种用于晶圆表面焊接工艺的晶圆清洗装置，其特征在于：包括清洗槽1，所述清洗槽1设有用于装载治具的晶圆治具2和用于支撑晶圆治具2的支撑结构3，所述晶圆治具2包括底盘21，所述底盘21上设有装载台22，所述装载台22绕所述底盘21中心环向设置，其上设有多级台阶23，所述台阶23的高度由底盘21中心向外依次增高，以形成多个用于放置晶圆的夹持区域，每级台阶23的台阶23面上设有支撑台24，所述支撑台24沿底盘21的周向设有多个。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州云会五金电镀有限公司 一种用于晶圆表面焊接工艺的晶圆清洗装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号