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一种芯片通用式具有压力调节功能的固晶设备及热压方法 

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摘要:本发明涉及固晶设备技术领域,尤其涉及一种芯片通用式具有压力调节功能的固晶设备及热压方法。包括有机架,所述机架安装有第一智能移动平台,所述第一智能移动平台用于安装晶盘,所述晶盘包括有均匀分布的若干个晶片,所述机架内固接有固定架,所述固定架安装有电动转轴,所述电动转轴固接有固定滑轨,所述固定滑轨安装有滑块,所述固定滑轨上滑块固接有摆动臂,所述摆动架滑动连接有滑动架,所述滑动架固接有导热板,所述摆动臂固接有与所述导热板接触配合的加热件。本发明通过导热板与晶片接触,对晶片进行加热,直接加热晶片与基板之间的接触面,进而更加安全的控制对晶片进行加热的温度,减少晶片意外报废的概率。

主权项:1.一种芯片通用式具有压力调节功能的固晶设备,包括有机架(1),所述机架(1)内安装有第一智能移动平台(2)和第二智能移动平台(3),所述第一智能移动平台(2)用于安装晶盘(101),所述晶盘(101)包括有均匀分布的若干个晶片(102),所述机架(1)内固接有固定架(4),所述固定架(4)位于所述第一智能移动平台(2)和所述第二智能移动平台(3)的上侧,所述固定架(4)安装有电动转轴(5),所述电动转轴(5)固接有固定滑轨(6),所述固定滑轨(6)安装有滑块,所述固定滑轨(6)与所述固定架(4)滑动连接,所述固定滑轨(6)上滑块固接有摆动臂(7),所述摆动臂(7)远离所述固定滑轨(6)的一侧固接有电动伸缩杆(8),其特征是,还包括有摆动架(9),所述摆动架(9)转动连接于所述摆动臂(7),所述电动伸缩杆(8)的固定部通过支架滑动连接有滑动杆(10),所述滑动杆(10)与所述摆动架(9)转动连接,所述摆动架(9)滑动连接有滑动架(11),所述滑动架(11)固接有导热板(12),所述摆动臂(7)固接有与所述导热板(12)接触配合的加热件(13),所述电动伸缩杆(8)的伸缩端固接有用于控制所述摆动架(9)摆动的摆动机构和用于控制所述晶片(102)与基片挤压力度的压力调节机构。

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