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摘要：本实用新型提供一种用于晶圆花篮的机械手和脱胶插片清洗一体机，所述用于晶圆花篮的机械手包括依次连接的第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构和夹具，其中第二驱动机构、第三驱动机构和夹具为一一对应设置的至少两个，以使夹具能够沿第一方向、第二方向和第三方向移动，至少两个第二驱动机构间隔排布并设在同一第一驱动机构上，其中两个夹具沿第三方向的移动速度可具有差异。本实用新型的机械手中的两个夹具在第三方向的移动速度可具有差异，以使两个夹具在第二方向间隔排布的两个工位先后取放对应的花篮时耗时较短，且能够同时在第一方向间隔排布的两个工位上同时取放对应的花篮，从而具有较高的花篮转运效率。
主权项：1.一种用于晶圆花篮的机械手，其特征在于，包括：第一驱动机构1，所述第一驱动机构1沿第一方向延伸；第二驱动机构2，所述第二驱动机构2沿第二方向延伸，并设在所述第一驱动机构1上，以在所述第一驱动机构1的驱动下相对于所述第一驱动机构1沿所述第一方向移动，所述第二驱动机构2为沿所述第一方向间隔排布的至少两个，所述第二方向正交于所述第一方向；第三驱动机构3，所述第三驱动机构3沿第三方向延伸，所述第三驱动机构3为至少两个，所述第三驱动机构3一一对应的设在所述第二驱动机构2上，以在对应的所述第二驱动机构2驱动下相对于所述第一驱动机构1沿所述第二方向移动，所述第三方向正交于所述第一方向和所述第二方向；夹具4，所述夹具4为至少两个，所述夹具4一一对应的设在所述第三驱动机构3上，以在对应的所述第三驱动机构3驱动下相对于所述第一驱动机构1沿所述第三方向移动，其中两个所述夹具4沿所述第三方向的移动速度可具有差异。
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