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摘要:本实用新型提供一种花篮缓存机,包括缓存仓和储存仓,所述缓存仓设置在储存仓的一端,在缓存仓和储存仓之间设有储存通道,所述缓存仓包括密封仓、密封装置和输送装置,所述输送装置设置在密封仓内,所述密封仓上设有仓门,在仓门上设有密封装置,所述输送装置的进料端连通仓门,输送装置的出料端连接储存通道;所述密封装置包括密封组件和密封门,所述密封门通过密封组件紧密连接在仓门上;通过设置密封仓,由此通过缓存仓内的输送装置将花篮输送至储存仓内后,进而通过密封组件驱动密封门将仓门进行密封,由此使得储存仓内为密封的空间,从而即可将氮气等能够保护硅片的气体充入密封仓内,由此能够更好保护硅片不容易损坏。
主权项:1.一种花篮缓存机,包括缓存仓和储存仓,其特征在于:所述缓存仓设置在储存仓的一端,在缓存仓和储存仓之间设有储存通道,所述缓存仓包括密封仓、密封装置和输送装置,所述输送装置设置在密封仓内,所述密封仓上设有仓门,在仓门上设有密封装置,所述输送装置的进料端连通仓门,输送装置的出料端连接储存通道;所述密封装置包括密封组件和密封门,所述密封门通过密封组件紧密连接在仓门上。
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