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摘要：本申请涉及一种晶圆转运机构，涉及晶圆加工装置的领域，包括转台和多个载物台，转台水平设置且转动连接在地面上，多个载物台安装在转台上，载物台顶部开设水平面，载物台的水平面用于承接晶圆，载物台的水平面上开设有多个气孔，载物台上连接有气泵，气泵与载物台通过软管连通，气泵通过软管抽气并使空气从气孔流入载物台和软管中。本申请具有减少晶圆在载物台上滑移的几率的效果。
主权项：1.一种晶圆转运机构，其特征在于：包括转台（1）和多个载物台（2），转台（1）水平设置且转动连接在地面上，多个载物台（2）安装在转台（1）上，载物台（2）顶部开设水平面，载物台（2）的水平面用于承接晶圆，载物台（2）的水平面上开设有多个气孔（221），载物台（2）上连接有气泵，气泵与载物台（2）通过软管连通，气泵通过软管抽气并使空气从气孔（221）流入载物台（2）和软管中。
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百度查询： 上海微松工业自动化有限公司 一种晶圆转运机构
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