龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明涉及制备单晶金刚石用基片台、单晶金刚石的制备方法，属于单晶金刚石制备技术领域。本发明利用铜的高热导率特性铜的热导率是钼的3倍，在圆柱形凹槽内设置圆柱形铜片，可增加基片台中心部位的散热效果，可以很好地解决微波等离子体化学气相沉积法生长单晶金刚石过程中中心籽晶温度高、边缘籽晶温度低的问题，进而缩小生长过程中籽晶的整体温差，维持生长温度的均匀性，提高良品率。
主权项：1.一种制备单晶金刚石用基片台，其特征在于，包括由上而下依次叠合设置的钼片和钼柱，所述钼片和钼柱均为圆柱形；所述钼片的上端面为平面，平整度小于0.02mm，钼片的下端面为平面，钼片的下端面中部开设有圆柱形凹槽，圆柱形凹槽内设有圆柱形铜片，钼片、圆柱形凹槽和圆柱形铜片的轴线重合，圆柱形铜片的高度和圆柱形凹槽的深度相等，钼片的高度大于圆柱形凹槽的深度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河南天璇半导体科技有限责任公司 制备单晶金刚石用基片台、单晶金刚石的制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号