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摘要:本发明涉及包括氧化物和单晶金属层的金属复合基片及其制备方法。一种金属复合基片的制备方法可包括:提供单晶金属氧化物基底;在氧气氛中对所述金属氧化物基底进行热退火处理;在真空环境中加热所述金属氧化物基底以进行除气处理;在所述金属氧化物基底上沉积单晶金属层。
主权项:1.一种金属复合基片的制备方法,包括:提供单晶金属氧化物基底;在氧气氛中对所述金属氧化物基底进行热退火处理;在真空环境中加热所述金属氧化物基底以进行除气处理;在所述金属氧化物基底上沉积单晶金属层。
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百度查询: 中国科学院物理研究所 包括氧化物和单晶金属层的金属复合基片及其制备方法
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