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一种类金刚石真空镀膜设备 

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摘要:本发明涉及真空镀膜技术领域,具体为一种类金刚石真空镀膜设备,包括处理室,所述处理室包括底板,所述底板上分别活动设置有:活动盘,其上活动设置有处于水平状态且抵靠工件内壁用的顶杆;活动架,其倾斜设置于所述底板上,所述活动架上转动设置有活动环,所述活动环上活动设置有多个抵靠工件外壁用的顶块;驱动杆,其转动安装于所述底板上,所述驱动杆包括以下两个状态:第一状态,所述驱动杆通过所述活动盘与所述顶杆带动工件水平转动。该发明提供的类金刚石真空镀膜设备,顶杆抵靠工件内壁将工件撑起来,以便处理室对工件外壁处理,顶块抵靠工件外壁将工件固定,且工件倾斜,工件开口斜向上,以便处理室对工件内壁处理。

主权项:1.一种类金刚石真空镀膜设备,其特征在于,包括处理室,所述处理室包括底板,所述底板上分别活动设置有:活动盘,其上活动设置有处于水平状态且抵靠工件内壁用的顶杆;活动架,其倾斜设置于所述底板上,所述活动架上转动设置有活动环,所述活动环上活动设置有多个抵靠工件外壁用的顶块;驱动杆,其转动安装于所述底板上,所述驱动杆包括以下两个状态:第一状态,所述驱动杆通过所述活动盘与所述顶杆带动工件水平转动;第二状态,所述驱动杆带动所述顶杆与工件分离、顶块抵靠于工件外壁以使工件与活动架同轴,所述驱动杆与所述活动环耦合以使工件倾斜转动;所述活动盘上设置有驱使多个顶杆同步移动的驱动盘,所述底板上设置有与所述驱动盘间歇配合并驱使所述驱动盘相对所述活动盘转动用的齿块,底板上设置有固定架。

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