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纳米金刚石涂层及其制备方法 

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摘要:本发明公开了一种纳米金刚石涂层及其制备方法,该纳米金刚石涂层的平均晶粒度在80nm以下,拉曼图谱中金刚石相含量大于60%,涂层厚度为3μm~30μm。制备方法包括先在经过预处理的硬质合金刀具基体上沉积一层微米金刚石涂层,然后采用热丝化学气相沉积法在微米金刚石涂层上沉积纳米金刚石涂层,沉积过程中以氢气、甲烷和氮气作为沉积气体。本发明制备的纳米金刚石涂层具有金刚石相含量高、硬度高等优点,可以延长刀具寿命,制备方法简单有效,有利于工业化应用。

主权项:1.一种纳米金刚石涂层,其特征在于,所述纳米金刚石涂层的平均晶粒度在80nm以下,所述纳米金刚石涂层的拉曼图谱中金刚石相含量大于60%,所述纳米金刚石涂层的厚度为3μm~30μm。

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