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摘要：本发明提供提高作业员在基片处理装置的维护作业时的安全性的基片处理装置、维护方法和存储介质。基片处理装置对基片进行处理，包括：壳体，其具有收纳上述基片的处理所使用装置的收纳空间；开闭器，其切换上述收纳空间的打开状态和关闭状态；检测部，其设置在上述壳体的周边，检测作业员的穿戴保护用具；和控制部，其控制上述开闭器的动作，上述控制部执行如下控制：判断由上述检测部检测到的上述穿戴保护用具是否是预先登记的与上述壳体对应的对应保护用具，在上述穿戴保护用具是上述对应保护用具的情况下，将上述收纳空间的关闭状态切换为打开状态。
主权项：1.一种对基片进行处理的基片处理装置，其特征在于，包括：壳体，其具有对所述基片的处理所使用的装置进行收纳的收纳空间；开闭器，其切换所述收纳空间的打开状态和关闭状态；检测部，其设置在所述壳体的周边，检测作业员的穿戴保护用具；和控制部，其对所述开闭器的动作进行控制，所述控制部执行如下控制：判断由所述检测部检测到的所述穿戴保护用具是否为预先登记的与所述壳体对应的对应保护用具，在所述穿戴保护用具为所述对应保护用具的情况下，将所述收纳空间的关闭状态切换为打开状态。
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百度查询： 东京毅力科创株式会社 基片处理装置、维护方法和存储介质
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