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摘要:本实用新型公开了一种蓝宝石基片用软硬同体固结磨盘,所述软硬同体固结磨盘包括多软质与硬质区域同体单元,软质区域硬度90‑100HD肖氏,硬质区域硬度为其1.1‑1.4倍。软质区域中含有硬质磨料,硬质磨料的硬度不低于蓝宝石;硬质区域中含有软质磨料,软质磨料为能与蓝宝石发生固相反应的材料,且硬度比蓝宝石低。本实用新型协调软硬质磨粒和软硬质区域的匹配性,促进软质磨料和蓝宝石基片之间固相反应作用,发挥硬质磨料优异的机械去除性能,降低表面与亚表面损伤,实现软硬协同高效低损伤加工。
主权项:1.一种蓝宝石基片用软硬同体固结磨盘,其特征在于:所述软硬同体固结磨盘包括多个同体单元,每个同体单元包括软质区域与硬质区域,软质区域硬度为肖氏90-100HD,硬质区域硬度为软质区域硬度的1.1-1.4倍。
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