龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本申请公开了一种用于辅助半导体晶圆清洗的晶圆加工装置，涉及半导体加工设备技术领域；本申请利用三根软杆相向移动夹紧固定晶圆，利用磁力限制软杆的移动，进而便于翻转的进行；实现了用于辅助半导体晶圆清洗的晶圆加工装置占地面积小、作业效率高、适用性强、在晶圆转移时受力较为均匀不易挤压损伤晶圆、转移过程中对晶圆的磨损小且整个装置运行稳定可靠的技术效果。
主权项：1.一种用于辅助半导体晶圆清洗的晶圆加工装置，包括内置载台010的清洗设备001、转运设备；载台010的顶部定位有三个滑动夹块011；其特征在于：滑动夹块011上固定有厚度小于等于3.5毫米的软垫005；所述转运设备包括基础滑移车100、固定在基础滑移车100上的支撑组件200和定位在支撑组件200上的晶圆夹持组件300；所述晶圆夹持组件300包括基础承载板310、转动基板320、移位块332、吸附体333和夹持软杆340；所述基础承载板310为纵向设置的硬质矩形板体，转动连接在支撑组件200上，并在动力组件驱动下进行转动；所述转动基板320的主体为矩形，数量为两个，二者对称且一上一下设置；所述转动基板320绕自身的其中一个边转动连接在基础承载板310上，转动轴的轴向与水平地面平行；转动基板320上呈辐射状设有三个滑移导向槽331；移位块332与滑移导向槽331一一对应；所述吸附体333为电磁铁，固定在移位块332的远离滑移导向槽331的面上；所述夹持软杆340的数量为三个，侧壁上设有定位槽341，两端均固定有铁磁材质的端部吸引体342。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 滁州华瑞微电子科技有限公司 一种用于辅助半导体晶圆清洗的晶圆加工装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号