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摘要:半导体装置的制造方法具备如下工序:准备具有第1基板主体、第1绝缘膜及多个第1电极的第1半导体基板;准备具有第2基板主体、第2绝缘膜及多个第2电极的第2半导体基板;彼此贴合第1绝缘膜与第2绝缘膜并且接合多个第1电极与多个第2电极而获得混合接合结构体;在第2基板主体中形成多个连接凸块;切割混合接合结构体,获得分别包含第1半导体元件、第1电极、第2半导体元件、第2电极及连接凸块的多个混合接合结构零件;将第1混合接合结构零件安装于其他部件;在第1混合接合结构零件与其他部件之间的间隙中注入第1液态材料;及使第1液态材料固化。
主权项:1.一种半导体装置的制造方法,其具备如下工序:准备具有包含多个第1半导体元件的第1基板主体、以及设置于所述第1基板主体上的第1绝缘膜及多个第1电极的第1半导体基板;准备具有包含多个第2半导体元件的第2基板主体、以及设置于所述第2基板主体上的第2绝缘膜及多个第2电极的第2半导体基板;彼此贴合所述第1半导体基板的所述第1绝缘膜与所述第2半导体基板的所述第2绝缘膜,并且接合所述第1半导体基板的所述多个第1电极与所述第2半导体基板的所述多个第2电极,而获得混合接合结构体;在所述第2基板主体的与所述第2绝缘膜相反的面上形成多个连接凸块;切割形成有所述多个连接凸块的所述混合接合结构体,获得分别包含至少一个第1半导体元件、至少一个第1电极、至少一个第2半导体元件、至少一个第2电极及至少一个连接凸块的多个混合接合结构零件;将所述多个混合接合结构零件中的第1混合接合结构零件安装于其他部件;在所述第1混合接合结构零件与所述其他部件之间的间隙中注入固化性的第1液态材料;及使所述第1液态材料固化。
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百度查询: 株式会社力森诺科 半导体装置的制造方法及半导体装置
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