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摘要:本实用新型涉及晶圆加工技术领域,公开了一种晶圆贴片装置,包括加工台,所述加工台的内部设置有移动组件,加工台的顶部设置有切除组件,移动组件包括开设于加工台顶部的第一滑槽,第一滑槽的内部设置有移动结构,切除组件包括固定安装于加工台顶部的第五固定板,第五固定板的底部设置有切除结构,移动组件还包括开设于加工台内部的第二滑槽,移动结构包括滑动安装于第一滑槽内部的第一滑块,第一滑块的一端固定安装有第一支撑底柱,第一支撑底柱的顶部固定安装有第二支撑底柱,达到对晶圆进行移动运输的目的,提高晶圆运输的稳定性,防止晶圆在移动过程中位置偏移,提高晶圆运输的安全性,便于后续对薄膜进行切除。
主权项:1.一种晶圆贴片装置,包括加工台10,其特征在于,所述加工台10的内部设置有移动组件,加工台10的顶部设置有切除组件,移动组件包括开设于加工台10顶部的第一滑槽11,第一滑槽11的内部设置有移动结构,切除组件包括固定安装于加工台10顶部的第五固定板28,第五固定板28的底部设置有切除结构,移动组件还包括开设于加工台10内部的第二滑槽37。
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