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晶圆位置的校准方法、装置及晶圆传片系统 

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摘要:本申请公开了一种晶圆位置的校准方法、装置及晶圆传片系统,涉及晶圆校准技术领域。该晶圆位置的校准方法包括:获取放置在静电吸盘上的晶圆的晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的多张间隔区域图像;分别对每张第一间隔区域图像以及每张第二间隔区域图像进行二值化处理,得到两张第一二值化图像和一张第二二值化图像;根据两张第一二值化图像确定晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的两组第一像素点数量,以及根据一张第二二值化图像确定晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的一组第二像素点数量;根据两组第一像素点数量、一组第二像素点数量以及像素点尺寸,确定晶圆与静电吸盘的位置偏差值;根据位置偏差值,对晶圆进行位置校准。

主权项:1.一种晶圆位置的校准方法,其特征在于,所述方法包括:获取放置在静电吸盘上的晶圆的晶圆边缘与静电吸盘边缘之间的多张间隔区域图像,所述多张间隔区域图像包括两张第一间隔区域图像和一张第二间隔区域图像,所述两张第一间隔区域图像为对第一方向的晶圆两侧的间隔区域拍摄图像,所述一张第二间隔区域图像为对第二方向的晶圆任意一侧的间隔区域拍摄图像,所述第一方向与所述第二方向垂直;分别对每张所述第一间隔区域图像以及每张所述第二间隔区域图像进行二值化处理,得到两张第一二值化图像和一张第二二值化图像;根据所述两张第一二值化图像确定所述晶圆边缘与所述静电吸盘边缘之间的两组第一像素点数量,以及根据所述一张第二二值化图像确定所述晶圆边缘与所述静电吸盘边缘之间的一组第二像素点数量;根据所述两组第一像素点数量、所述一组第二像素点数量以及像素点尺寸,确定所述晶圆与所述静电吸盘的位置偏差值;根据所述位置偏差值,对所述晶圆进行位置校准。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司 晶圆位置的校准方法、装置及晶圆传片系统

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