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摘要：本发明提供了一种供气系统、大气机械手臂、晶圆传送设备及方法，涉及半导体生产设备技术领域，为解决大气机械手臂在伸出或者缩回过程中内部管路容易发生缠绕、弯折的技术问题而发明，大气机械手臂包括左机械手臂和右机械手臂，供气系统包括第一供气气路和第二供气气路，分别为两个末端执行器内部的耗气元件进行供气，第一供气气路和第二供气气路均具有伸缩余量，以适应左机械手臂和右机械手臂的伸出或者缩回状态，本发明第一供气气路和第二供气气路预留伸缩余量，在机械手臂的伸出或者缩回状态下能够避免第一供气气路和第二供气气路在手臂伸缩的过程中发生缠绕、弯折，保证第一供气气路和第二供气气路为末端执行器顺畅供气。
主权项：1.一种供气系统，应用于大气机械手臂，所述大气机械手臂包括左机械手臂和右机械手臂，分别用于驱动两个机械手臂伸出或者缩回且同轴设置的左驱动轴和右驱动轴，所述左机械手臂和所述右机械手臂的末端执行器内部均具有耗气元件，其特征在于：所述供气系统包括第一供气气路和第二供气气路，分别为两个末端执行器内部的耗气元件进行供气，所述第一供气气路和所述第二供气气路均具有伸缩余量，以适应所述左机械手臂和所述右机械手臂的伸出或者缩回状态；其中一个驱动轴具有轴向贯通的通孔，且驱动轴的径向侧壁上开设有与所述通孔连通的穿孔；所述第一供气气路自所述通孔穿入，经所述穿孔与所述左机械手臂的末端执行器内部的耗气元件相连；所述第二供气气路经所述通孔与所述右机械手臂的末端执行器内部的耗气元件相连；所述第一供气气路在所述穿孔位置与所述左机械手臂转接的气路部分设置有疏导支架，所述疏导支架的横截面为涡状线型，靠近所述疏导支架涡心位置为穿线的初始端，远离所述疏导支架的涡心位置为穿线的末尾端。
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