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申请/专利权人:浙江吉进科技有限公司
摘要:本实用新型公开了一种用于晶圆片的转移搬送装置,包括输送轨道、移动座、升降机构、回转机构、水平伸缩机构、搬运叉以及喷淋头;移动座安装在输送轨道上移动;升降机构安装在移动座上升降;水平伸缩机构通过回转机构安装在升降机构的上端进行转动;搬运叉通过安装头安装在水平伸缩机构的移动部位上,搬运叉包括两条平行设置的托板,托板的长度方向平行于水平伸缩机构的伸缩方向,托板的一端与安装头固定连接;喷淋头的数量至少为一个,喷淋头安装在安装头上,喷淋头的出口朝向搬运叉的方向倾斜朝上设置,喷淋头通过软管连接用输水管,保持了晶圆片在搬运过程中的湿润,避免抛光液蒸发干燥,从而避免了晶体的析出,容易将晶圆片清洗干净。
主权项:1.一种用于晶圆片的转移搬送装置,其特征在于,包括输送轨道1、移动座2、升降机构、回转机构、水平伸缩机构、搬运叉以及喷淋头25;所述移动座2安装在输送轨道1上沿着工艺路线移动;所述升降机构安装在移动座2上于竖直方向进行升降;所述水平伸缩机构通过回转机构安装在升降机构的上端进行转动;所述搬运叉通过安装头23安装在水平伸缩机构的移动部位上,所述搬运叉包括两条平行设置的托板24,所述托板24的长度方向平行于水平伸缩机构的伸缩方向,所述托板24的一端与安装头23固定连接;所述喷淋头25的数量至少为一个,所述喷淋头25安装在安装头23上,所述喷淋头25的出口朝向搬运叉的方向倾斜朝上设置,所述喷淋头25通过软管连接用输水管。
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