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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明涉及一种衬底处理装置及衬底搬送方法。本发明的衬底处理装置依序配置着ID块2、涂布块3、显影块4及IF块6。在ID块2上设有载置台13，在IF块6上设有载置台47。以往，仅在ID块上设有载具载置台。因此，在去路及返路这两个路径中，在ID块与IF块之间搬送衬底。根据本发明，在返路中，将衬底W从IF块6搬送到显影块4之后，不搬送到涂布块3，而将衬底W从显影块4移回到IF块6。因此，由于在返路中，削减了利用涂布块3进行的搬送工序，结果，能够提高衬底处理装置1整体的处理量。
主权项：1.一种衬底处理装置，对衬底进行处理，且包含以下要素：多个处理块，配置成一列，且具有至少1个一端侧的处理块及至少1个另一端侧的处理块；装载块，与所述多个处理块中的一端的处理块连结，且设有用于载置能够收纳多个衬底的载具的第1载具载置台；及接口块，与所述多个处理块中的另一端的处理块连结，针对外部装置进行衬底的搬入及搬出，且设有用于载置所述载具的第2载具载置台；所述装载块从载置在所述第1载具载置台上的所述载具取出衬底，并将所取出的衬底输送到所述一端侧的处理块，所述一端侧的处理块对输送来的衬底进行预先设定的处理，所述另一端侧的处理块将由所述一端侧的处理块处理后的衬底输送到所述接口块，所述接口块将由所述一端侧的处理块处理后的衬底搬出到所述外部装置，所述接口块从所述外部装置搬入衬底，且将由所述外部装置处理后的衬底输送到所述另一端侧的处理块，所述另一端侧的处理块对从所述接口块输送来的衬底进行预先设定的处理，所述接口块将由所述另一端侧的处理块处理后的衬底移回到载置在所述第2载具载置台上的所述载具。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 衬底处理装置及衬底搬送方法
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