龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
摘要：本申请涉及一种晶圆传送装置、系统和方法。所述装置包括：支架；传送臂，第一端活动设置在所述支架上，第二端具有承载盘；所述承载盘的顶面用于放置晶圆，所述传送臂用于通过旋转和或伸缩将所述晶圆传送至处理腔室；温控机构，设置在所述承载盘的底面上，用于控制所述晶圆的环境温度与所述处理腔室的内部温度一致。该装置能够减小晶圆在传输路径中的实际温度与晶圆在处理腔室内的设定温度之间的差异。
主权项：1.一种晶圆传送装置，其特征在于，所述装置包括：支架；传送臂，第一端活动设置在所述支架上，第二端具有承载盘；所述承载盘的顶面用于放置晶圆，所述传送臂用于通过旋转和或伸缩将所述晶圆传送至处理腔室；温控机构，设置在所述承载盘的底面上，用于控制所述晶圆的表面温度与所述处理腔室的内部温度一致。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 晶圆传送装置、系统和方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号