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申请/专利权人：无锡展硕科技有限公司

摘要：本发明实施例公开了一种晶圆传送机构。其中晶圆传送机构，包括抓取组件，所述抓取组件包括取片手臂和至少三个支撑点，至少一个所述支撑点为活动支撑点，所述活动支撑点沿第一方向上滑动设置在所述取片手臂上；至少一个所述支撑点在朝向所述承托面的中心点的一侧设有压紧结构。通过本发明实施例，可以利用活动支撑点，通过其在取片手臂上沿第一方向上的滑动，从而可以调节活动支撑点与固定支撑点之间的间距，进而可以通过该取片手臂实现对各种不同尺寸的晶圆进行夹持固定，提高整个取片手臂的适用性；通过压紧结构的形变部能够与晶圆的侧边发生弾性抵接，通过晶圆与形变部挤压后形成的顶面限位部，在晶圆的顶面形成限位，对晶圆实现全包裹。

主权项：1.一种晶圆传送机构，包括抓取组件，所述抓取组件包括取片手臂（11）和至少三个支撑点，所述取片手臂（11）的顶面形成用于承托晶圆（3）的承托面（111）；至少三个所述支撑点在水平方向上沿所述承托面（111）的周侧依次排布，并用于与晶圆（3）的侧边相抵；其特征在于，所述承托面（111）的中心点位于任意两个所述支撑点之间连线以形成的最大覆盖范围内，所述承托面（111）的中心点与晶圆（3）的重心在重力方向上相对设置；至少一个所述支撑点为活动支撑点（121），剩余的所述支撑点均为固定支撑点（122），所述活动支撑点（121）沿第一方向上滑动设置在所述取片手臂（11）上；至少一个所述支撑点在朝向所述承托面（111）的中心点的一侧设有压紧结构（13）；在重力方向上，所述压紧结构（13）包括靠近所述取片手臂（11）设置的形变部（131）和远离取片手臂（11）设置的顶面限位部（132），所述形变部（131）用于与晶圆（3）的侧边相抵，并在第一方向上发生弹性形变；所述形变部（131）被晶圆（3）挤压并发生形变后，至少部分所述顶面限位部（132）与晶圆（3）的顶面相抵；所述压紧结构（13）为气囊，所述压紧结构（13）的外部包裹有弹性薄膜，所述弹性薄膜内填充有气体，所述压紧结构（13）还包括设置在与其相对应的所述支撑点上的气泵以及泄压口（133），所述气泵通过进气口（134）给所述弹性薄膜内充入气体；所述弹性薄膜靠近所述取片手臂（11），且与晶圆（3）的高度相匹配的部分形成所述形变部（131），在重力方向上，所述弹性薄膜位于所述形变部（131）上方的部分形成所述顶面限位部（132）；所述活动支撑点（121）沿第一方向在夹持工位和避让工位往复运动；在所述夹持工位，所述活动支撑点（121）与晶圆（3）的侧边相抵，所述形变部（131）受到晶圆（3）挤压，通过所述泄压口（133）泄气以产生形变，并通过内部的气体和所述弹性薄膜与晶圆（3）的侧边弹性相抵，至少部分所述顶面限位部（132）与晶圆（3）的顶面相抵；在所述避让工位，所述活动支撑点（121）远离晶圆（3），所述气泵通过所述进气口（134）给所述弹性薄膜内充入气体，以使所述形变部（131）恢复至自然状态，所述形变部（131）推动晶圆（3），以使所述顶面限位部（132）与晶圆（3）的顶面脱离。

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