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申请/专利权人：上海谦视智能科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种集成晶圆崩边测量的晶圆预对准平台，包括支撑组件、光源、检测组件以及对齐相机，所述对齐相机用于拍摄所述晶圆和所述支撑组件的图像，识别所述晶圆的位置和状态，本实用新型可以提升晶圆预对准装置的整体功能性，有助于提升设备的整体效率。
主权项：1.一种集成晶圆崩边测量的晶圆预对准平台，其特征在于，包括：支撑组件，所述支撑组件用于放置晶圆，设于所述晶圆的下方，具有水平的支撑面，所述支撑组件包括旋转台以及预对齐平台，所述晶圆的边缘设有定位边；光源，用于在所述支撑组件上形成所述晶圆的照明光场；检测组件，所述检测组件对所述晶圆的边缘进行检测，所述检测组件包括上边缘检测镜头组和下边缘检测镜头组；所述上边缘检测镜头组包括底部支撑架、设于所述底部支撑架上的镜头安装板以及设于所述镜头安装板上的检测镜头；以及对齐相机，所述对齐相机用于拍摄所述晶圆和所述支撑组件的图像，识别所述晶圆的位置和状态，设于所述晶圆的上方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海谦视智能科技有限公司 一种集成晶圆崩边测量的晶圆预对准平台
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