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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供一种拾取器、搬送装置以及等离子体处理系统。所述拾取器保持基板和聚焦环，所述拾取器具有多个突起部，所述多个突起部保持基板的外周缘部，所述多个突起部的上表面与聚焦环抵接。
主权项：1.一种拾取器，保持基板和聚焦环，所述拾取器具有多个突起部，所述多个突起部具有圆锥台形状，通过该圆锥台形状的锥部来抵接所述基板的外周缘部，在该圆锥台形状的上表面与所述聚焦环抵接，所述聚焦环是在处理室的内部设置的用于载置基板的载置台的上表面以包围基板的周围的方式被载置的构件，该聚焦环用于提高蚀刻的均匀性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 拾取器、搬送装置以及等离子体处理系统
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