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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明涉及一种衬底处理系统及衬底搬送方法。例如ID区块、第1处理区块及第2处理区块以该顺序配置。为了将由第2处理区块处理过的衬底搬送到移载传送区块，虽然不利用第1处理区块进行处理，也必须通过第1处理区块。然而，第1处理区块及第2处理区块均连结于移载传送区块。因此，能够将衬底从第2处理区块直接搬送到移载传送区块而不经过第1处理区块。所以能够抑制产能降低。
主权项：1.一种衬底处理系统，其特征在于，具备：移载传送区块，设置着用于载置能够收纳衬底的载体的载体载置台；第1处理装置；及第2处理装置；所述第1处理装置、所述移载传送区块及所述第2处理装置以所述第1处理装置、所述移载传送区块、所述第2处理装置的顺序在水平方向上呈直线状连结，所述移载传送区块在内部具备载置多个衬底的衬底缓冲区，所述衬底缓冲区配置在所述第1处理装置与所述第2处理装置的中间，所述衬底缓冲区具有配置在上下方向的多个衬底载置部，所述多个衬底载置部各自以能够载置所述衬底的方式构成，所述第1处理装置具有第1衬底搬送机构，所述第2处理装置具有第2衬底搬送机构，所述移载传送区块从载置在所述载体载置台的载体取出衬底，将取出的衬底搬送到所述衬底缓冲区的所述多个衬底载置部，所述第1处理装置利用所述第1衬底搬送机构从所述多个衬底载置部接收衬底，对接收的衬底进行规定处理，将已利用所述第1处理装置进行过处理的衬底利用所述第1衬底搬送机构搬送到所述多个衬底载置部，所述第2处理装置利用所述第2衬底搬送机构从所述多个衬底载置部接收由所述第1处理装置搬送到所述多个衬底载置部的衬底，对接收的衬底进行规定处理，将已利用所述第2处理装置进行过处理的衬底利用所述第2衬底搬送机构搬送到所述多个衬底载置部，所述移载传送区块将已利用所述第2处理装置进行过处理的衬底从所述多个衬底载置部送回载置在所述载体载置台的所述载体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 衬底处理系统及衬底搬送方法
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