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一种多层交替涂层刀具及其制备方法
本发明涉及涂层刀具技术领域,提出一种多层交替涂层刀具及其制备方法,多层交替涂层刀具包括基体和依次设置在基体表面的多层涂层,所述多层涂层采用化学气相沉积方法制备,包括相邻的第一子涂层和第二子涂层;第一子涂层为Zr
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一种织构强化的α-Al
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涂层刀具及其制备方法
本发明属于机械加工刀具技术领域,具体涉及一种织构强化的α‑Al
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涂层刀具及其制备方法,所述涂层至少包含一层通过CVD方法沉积的α‑Al
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涂层,涂...
用于最小化至处理腔室泵的热辐射的热屏蔽组件
本文提供用于处理腔室的热屏蔽组件的实施方式。在一些实施方式中,用于处理腔室的热屏蔽组件包括:第一屏蔽件,该第一屏蔽件包括圆形板;第二屏蔽件,该第二屏蔽件耦接至该第一屏蔽件且与该第一屏蔽件呈平行配置,其中该第二屏蔽件具有大于该第一屏蔽件的外径...
一种压缩机曲轴表面处理镀锌工艺
本发明公开了一种压缩机曲轴表面处理镀锌工艺,属于压缩机曲轴技术领域,包括如下步骤:S1、曲轴清洗;S2、脱脂处理;S3、酸洗处理;S4、水洗处理;S5、助镀处理:使曲轴表面的助镀溶液覆盖均匀;S6、预热处理;S7、镀锌处理:将曲轴放入热镀锌...
一种含钽PVD硬质涂层及其制备方法、设备
本发明公开了一种含钽PVD硬质涂层及其制备方法、设备,该涂层包含Al、Cr、Ta和N四种元素,AlCrTaN涂层为纳米组织结构;该制备方法,包括如下工序:工序一;为基体的表面预处理;工序二为辉光清洗;工序三为离子刻蚀处理;工序四为AlCrT...
在脉冲式PVD中通过等离子体改性从晶片移除颗粒的方法
披露了用于减少沉积在基板上的颗粒的物理气相沉积方法。可增加溅射期间的压力以引起在等离子体中形成的颗粒的团聚。在熄灭等离子体之前,可将团聚的颗粒移动到处理腔室的外部部分,使得团聚物无害地落在基板的直径的外侧。
一种钢带镀锌加工装置
本实用新型公开了一种钢带镀锌加工装置,包括外机壳,所述外机壳顶端设置有固定块一,所述固定块一顶端安装有滑块,所述固定块一一侧壁安装有轨道一。有益效果在于:本实用新型通过进水口一、进水口二、喷口和储水箱的设计,喷口和进水口一可以使得水源进行循...
一种喷淋头及薄膜沉积装置
本实用新型提供了一种喷淋头及薄膜沉积装置。所述喷淋头包括:铝制的喷淋头主体,用于将含氟气体均匀喷洒到反应腔室内部,以对所述反应腔室进行清洁处理;以及氧化钇和氧化铝的混合涂层,覆盖所述喷淋头主体的表面,以防止所述气体在所述喷淋头表面生成氟铝化...
一种用于BC组件的稳定型无色镀膜工艺及系统
本申请属于BC组件镀膜技术领域,公开了一种用于BC组件的稳定型无色镀膜工艺及系统,工艺包括依次对BC基材进行脱脂处理、酸洗处理、干燥处理、气相沉积、热处理、强对流烘干处理和固化处理,最终得到稳定型无色镀膜。本申请通过依次对BC基材进行清洗、...
镀膜设备、镀膜方法、膜层以及器件
本发明的实施例提供一种镀膜设备、镀膜方法、膜层以及器件。该镀膜设备包括:镀膜腔体,包括用于放置待镀膜的基材的镀膜腔室;液体进料装置,与所述镀膜腔室相连通,用于输送液体原料经气化后的第一气体原料至所述镀膜腔室内;固体进料装置,与所述镀膜腔室相...
一种在金属基体表面形成长寿命导电耐蚀涂层的处理方法
本发明提供一种在金属基体表面形成长寿命导电耐蚀涂层的处理方法,该方法通过在金属基体表面先形成带缺陷的一氧化钛层(即TiO),然后利用化学气相沉积方法进行碳元素掺杂,在TiO层中形成Ti‑O‑C键,进而极大增强所镀碳层与金属基体的结合力,获得...
一种镀膜设备用加热盘
本实用新型公开了一种镀膜设备用加热盘,属于半导体镀膜设备技术领域,其中包括盘体、固定盘和螺纹孔,所述固定盘设置在盘体下端,所述螺纹孔开设在固定盘内部,所述螺纹孔内部螺纹连接有第一螺纹柱,其有益效果是,该一种镀膜设备用加热盘,通过设置第一旋钮...
一种磁控溅射与电子束复合型镀膜装置
本发明公开了一种磁控溅射与电子束复合型镀膜装置,涉及镀膜装置领域,包括真空箱,所述真空箱的一端设置有传动机构。本发明,可以快速把热量吸走,从而能够对靶材基座进行散热,同时,能够防止柔性材料的基膜碳化,保证柔性材料不会褶皱,不仅不会对柔性材料...
一种高能束辐照制备具有陶瓷相外壳的多元金属复合涂层的方法
一种高能束辐照制备具有陶瓷相外壳的多元金属复合涂层的方法,本发明为了解决传统电弧离子镀工艺制备PVD涂层时遇到的结合不充分、表面残留未熔大颗粒及孔洞缺陷过多等问题。制备方法:一、对基体表面进行抛光和清洗;二、采用电弧离子镀或者喷涂工艺在预处...
一种风电金属组件表面合金膜及其处理方法和应用
本发明公开了一种风电金属组件表面合金膜及其处理方法和应用,属于材料表面处理技术领域。合金膜包括在风电金属组件表面冶金扩散结合的TaNbW层和TiVCr层交替的多层结构。本发明通过对风电金属组件表面超声喷丸、交替溅射和分段梯度热处理三步处理,...
一种辅助气体的进气结构、喷淋板和薄膜沉积设备
本实用新型公开了一种辅助气体的进气结构、喷淋板和一种薄膜沉积设备。该进气结构包括:第一进气口,设置于反应腔的第一位置,用以向所述反应腔通入所述辅助气体,其中,所述辅助气体为动态中心控制气体,所述第一进气口与远程等离子体源系统的连接通道之间设...
高熵合金纳米复合涂层及其制备方法
本发明高熵合金纳米复合涂层及其制备方法,该复合涂层包括Cr过渡层、在Cr过渡层表面交替沉积的(CrAlTiNbV)N
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高熵氮化物涂层以及C涂层,采用非平衡磁控溅射分别沉积多层结构,周期性结构清晰且致密。本发明具有提高复...
一种高硬度含氢类金刚石(DLC)薄膜及其制备方法
本发明提供一种高硬度含氢类金刚石(DLC)薄膜及其制备方法,属于复合材料制备领域。高硬度含氢DLC薄膜包括基底、以及在基底表面自下而上形成的Ti过渡层、Ti/C梯度过渡层和含氢DLC层。Ti过渡层和Ti/C梯度过渡层采用磁过滤真空电弧沉积制...
一种连续膜压镀铝设备
本实用新型公开了一种连续膜压镀铝设备,涉及膜压镀铝技术领域,包括机体和开关,机体内部设置有电机,且电机和上进料轴连接,并且上进料轴通过传动带和下进料轴连接,机体内部设置有推杆,且推杆和压块连接,并且压块下方设置有固定体,该装置设置有镀铝结构...
用于带钢的热浸镀锌自动输送装置
本实用新型涉及带钢热浸镀锌技术领域,具体为用于带钢的热浸镀锌自动输送装置,包括:进料组件,进料组件包括张紧辊,张紧辊由张紧电机驱动,用于张紧带钢并通过摩擦力带动带钢前进;热浸炉,热浸炉包括炉体,炉体用于盛放熔融锌液;还包括:分隔组件,分隔组...
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