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申请/专利权人：烟台大学
摘要：本发明公开了一种含钽PVD硬质涂层及其制备方法、设备，该涂层包含Al、Cr、Ta和N四种元素，AlCrTaN涂层为纳米组织结构；该制备方法，包括如下工序：工序一；为基体的表面预处理；工序二为辉光清洗；工序三为离子刻蚀处理；工序四为AlCrTaN涂层的沉积；该制备设备包括底座，所述底座上安装有基体表面处理装置、辉光清洗装置、离子刻蚀装置以及AlCrTaN涂层沉积装置，所述基体表面处理装置，所述基体表面处理装置包括箱体。本发明中AlCrTaN涂层硬度高、韧性好，具备优良的抗高温氧化性，可以显著提高涂层在高温环境下的耐磨性，从而增加涂层的使用寿命。
主权项：1.一种含钽PVD硬质涂层，包括基体，其特征在于，所述基体上的设有含钽PVD硬质涂层，所述含钽PVD硬质涂层包含Al、Cr、Ta和N四种元素，所述含钽PVD硬质涂层为AlCrTaN涂层且AlCrTaN涂层为纳米组织结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 烟台大学 一种含钽PVD硬质涂层及其制备方法、设备
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