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申请/专利权人：派镀科技(深圳)有限公司

摘要：本发明公开了一种磁控溅射与电子束复合型镀膜装置，涉及镀膜装置领域，包括真空箱，所述真空箱的一端设置有传动机构。本发明，可以快速把热量吸走，从而能够对靶材基座进行散热，同时，能够防止柔性材料的基膜碳化，保证柔性材料不会褶皱，不仅不会对柔性材料镀膜的良率造成影响，而且还不会影响柔性材料镀膜效率，其次，可以对水进行循环使用，从而能够循环对两组靶材基座和两组冷辊表面的热量进行散热，提高了散热效果，能够保持持续的散热效果，能够对柔性材料进行连续覆膜，其次，能够加快水在出水管的内部流动，加快水流的流动，并把水流导入换热箱的内部，加快对热量的排放，进一步提高散热效果。

主权项：1.一种磁控溅射与电子束复合型镀膜装置，包括真空箱（1），其特征在于：所述真空箱（1）的一端设置有传动机构（2），所述传动机构（2）包括降温机构（3），所述降温机构（3）的一端设置有加快流动机构（4），所述真空箱（1）的内部设置有柔性导料机构（5），所述真空箱（1）的内部设置有伸缩机构（6），所述真空箱（1）的内部底端且靠近两侧边缘位置处均固定安装有靶材基座（14），所述真空箱（1）的一端固定安装有一号防护壳（7），所述一号防护壳（7）的一端固定安装有二号防护壳（8）；所述降温机构（3）包括水箱（31）和换热箱（32）、两组散热板（39）和两组二号盘水管（311），所述水箱（31）的出水端固定安装有出水管（34），所述出水管（34）的外壁贯穿焊接有异型管（35），两组所述靶材基座（14）的一端均贯穿安装有一号回水管（36），两组所述靶材基座（14）的一端均贯穿安装有长管（37），两组所述散热板（39）的上端均焊接有若干组散热弧形片（38），两组所述散热板（39）的下端均焊接有一号盘水管（310），两组所述二号盘水管（311）的出水口均固定安装有二号回水管（312）；所述加快流动机构（4）包括固定板（41）和导流筒（42），所述导流筒（42）的内部滑动安装有活塞（43），所述固定板（41）的一端固定安装有支撑架板（44），所述固定板（41）的突出端转动安装有二号皮带传动组件（46），所述二号皮带传动组件（46）中的传动轮固定安装有连接杆（45），所述支撑架板（44）的中间转动安装有偏转组件（47），所述偏转组件（47）的内部转动安装有活动推座（48），所述导流筒（42）的外壁贯穿开设有四组进水孔（49）。

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