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微观装置的制造及其处理技术
半导体衬底的制备方法
一种半导体衬底的制备方法,包括:提供第一衬底和第二衬底;对所述第一衬底的相对的第一表面和第二表面进行氧化处理以形成第一氧化层和第二氧化层;对所述第一衬底的所述第一表面进行刻蚀处理以形成凹槽结构,并保留部分所述第一氧化层;将所述第二衬底和所述...
一种实现MEMS芯片互联的扇出型晶圆级封装结构
本实用新型公开了一种实现MEMS芯片互联的扇出型晶圆级封装结构,包括eWLB‑F芯片、倒装于eWLB‑F芯片上的MEMS芯片;所述eWLB‑F芯片包括芯片一、塑封层和重布线层一,塑封层包裹芯片一并露出芯片一的键合区,重布线层一位于塑封层上,...
半导体结构的制备方法及半导体结构
本发明提供了一种半导体结构的制备方法及半导体结构,涉及半导体制备的技术领域,具有目标尺寸的氧化硅沟槽很容易通过对硅基底的设计及精细的工艺控制实现。与现有技术相比,本申请中并未直接对氧化硅结构进行直接加工;而是,通过氧化硅沟槽的尺寸反推导硅沟...
一种电子器件的制备方法及电子器件
本申请公开一种电子器件的制备方法及电子器件,涉及微电子技术领域,能够提高电子器件产品的良率。电子器件的制备方法包括:在硅片的一侧依次设置第一介质层和第二介质层;在第二介质层远离硅片的一侧设置光刻胶,以及利用光刻工艺对光刻胶进行图形化处理,以...
一种无线键合压电TOF传感器制作方法
本发明属于传感器领域,具体涉及一种无线键合压电TOF传感器制作方法,包括:在硅基片底部刻蚀一个圆形小孔;在具有圆形小孔的硅基片的正面刻蚀一个圆形空腔,且圆形空腔的圆心与圆形小孔的圆心同轴;采用硅‑硅键合方式在圆形空腔后键合覆盖一个硅片;对新...
一种非制冷红外探测器像素级封装结构及制备方法
本发明涉及非制冷红外探测器技术领域,更具体涉及一种非制冷红外探测器像素级封装结构及制备方法,包括在内置读出电路的基底上制作像元微桥结构,像元微桥结构中的桥柱内部具有第一空腔,并在第一空腔内填满填充材料,形成第一层实心孔柱。在第一层制作完成的...
一种低噪声MEMS加速度计
本实用新型公开了一种低噪声MEMS加速度计,包括上玻璃层、硅层、下玻璃层和两组马蹄形磁铁,上玻璃层上设有一个U型空腔,下玻璃层上设有一个矩形空腔,上玻璃层上设有金属上电极阵列,上玻璃层上设有上内部焊盘、上金属密封圈和焊料层;硅层包括大尺寸敏...
合成射流激励器、MEMS装置以及合成射流激励器的制备方法
本发明涉及半导体技术领域,具体提供一种合成射流激励器、MEMS装置以及合成射流激励器的制备方法,旨在解决现有合成射流激励器难以微型化的问题。为此目的,本发明提供一种合成射流激励器,包括:第一玻璃基板,包括第一侧壁和由所述第一侧壁围绕的腔体,...
一种具有保温功能的纸箱
本实用新型涉及纸箱技术领域,且公开了一种具有保温功能的纸箱,包括纸箱本体和密封纸板,所述纸箱本体的内壁表面活动连接有限位机构,所述限位机构的内壁表面活动连接有的隔温机构,所述限位机构的底端表面活动连接有隔温板,所述隔温板的底端表面粘接有隔温...
生产复合帽元件的方法以及复合帽元件
本发明涉及一种生产复合帽元件、尤其用于MEMS部件的封装的复合帽元件的方法,包括:(a)提供底基板,具有通过在该底基板内的开口形成的至少一个窗口;(b)提供透明的盖基板,用于透明地覆盖所述底基板内的所述至少一个窗口;(c)其中所述底基板和所...
一种点断式保鲜袋的断点线加工机构
本实用新型涉及保鲜袋加工领域,具体涉及一种点断式保鲜袋的断点线加工机构,包括框体,所述框体内壁上固定连接有滑轨,所述滑轨内固定连接有滑杆,所述滑轨内滑动连接有滑块,所述滑块与滑杆套接,所述滑块上方贴合连接有弹簧,所述弹簧与滑轨内部上方贴合,...
用于心脏脉冲场消融的MEMS电极器件及其制备方法
本发明提供一种用于心脏脉冲场消融的MEMS电极器件及其制备方法,该电极器件包括由下至上依次设置的下部绝缘层、温度传感层、中部绝缘层、电极层、上部绝缘层和电极修饰层;其中,所述电极层用于向心脏组织施加脉冲电信号,同时记录心脏组织在每次脉冲场消...
游离脂肪酸检测试剂盒
本实用新型公开了游离脂肪酸检测试剂盒,包括盒体、盒盖、电热丝机构、冷却管、循环泵、储水箱,所述冷却管、循环泵及储水箱相连接,所述盒体腔内设置安置架且安置架上设置插槽,所述盒体包括上部、下部、安置板,本方案中改进结构,盒体采用上部、下部组装成...
一种多品类药剂暂存架
本实用新型公开了一种多品类药剂暂存架,包括架体,所述架体的前端表面开设有凹口,所述凹口的内部上下两端均连接有连接板,两个所述连接板的内部均设置有放置机构,两个所述连接板的后侧均设置有制冷机构,所述架体的底部安装有滚轮。本实用新型通过设置有一...
阻隔包装器皿
本申请公开了阻隔包装器皿,包括塑料容器、镀铝珠光膜以及透明opp膜,所述镀铝珠光膜设置于塑料容器以及透明opp膜之间,所述透明opp膜上设置有油墨印刷层,所述油墨印刷层位于所述镀铝珠光膜与所述透明opp膜之间,所述油墨印刷层与镀铝珠光膜之间...
一种组装式餐边柜
本实用新型公开了一种组装式餐边柜,包括底座,所述底座顶部放置有两个相接触的底柜,两个所述底柜底部均设置有定位块,所述底座顶部且对应定位块设置有定位槽,两个所述底柜顶部分别放置有左顶柜和右顶柜,所述左顶柜和右顶柜相对一端分别设置有插柱和插槽,...
线缆桥架保护装置
本实用新型公开了一种线缆桥架保护装置,涉及桥架保护装置技术领域。本实用新型包括第一U型座、活动配合在第二U型座、两连接件,第一U型座内壁底面滑动配合有两第一滑块,第二U型座底面滑动配合有两第二滑块,连接件包括相互转动配合的两连接条,连接件两...
一种包装内衬及其规划和制备方法
本发明公开了一种包装内衬及其规划和制备方法,属于包装技术领域,包装内衬包括周向封闭的内衬本体,内衬本体上设置有若干个用于装载内容物的装载结构,装载结构包括成形在内衬本体上且能够相对于内衬本体运动的活动片,内容物则被夹持在活动片与内衬本体之间...
一种可降解环保纸箱结构
本实用新型涉及纸箱技术领域,具体涉及一种可降解环保纸箱结构,包括箱体,箱体的内部设置有用于对产品进行分类包装的分类组件;分类组件包括活动设置在箱体内的分隔板,箱体的内壁连接有导轨,分隔板的侧面固定连接有滑块,滑块在导轨内滑动,且分隔板的内部...
一种物料转移容器
本实用新型涉及物料转移的技术领域,特别涉及一种物料转移容器,包括:外腔(1),为一端开口的容置结构;密封套件(2),包括:由固定于外腔(1)内上的安装板(24),装设于安装板(24)下的耐压容器(21),装设于耐压容器(21)一侧且贯穿外腔...
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