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申请/专利权人：天津维普泰克科技发展有限公司
摘要：本实用新型公开了一种镀膜设备用加热盘，属于半导体镀膜设备技术领域，其中包括盘体、固定盘和螺纹孔，所述固定盘设置在盘体下端，所述螺纹孔开设在固定盘内部，所述螺纹孔内部螺纹连接有第一螺纹柱，其有益效果是，该一种镀膜设备用加热盘,通过设置第一旋钮、第一螺纹柱和螺纹管，当人们需要调节半导体与加热装置之间的间隙时，人们通过转动第一旋钮，从而带动第一螺纹柱转动，在第一螺纹柱和螺纹管的配合下，从而带动L型顶杆向下或者向上移动，从而方便了人们对半导体与加热装置之间的间隙进行调节，避免了半导体与加热装置之间的间隙调节不便，从而影响工艺要求，从而提高了该装置的镀膜效果。
主权项：1.一种镀膜设备用加热盘，包括盘体1、固定盘2和螺纹孔3，其特征在于：所述固定盘2设置在盘体1下端，所述螺纹孔3开设在固定盘2内部，所述螺纹孔3内部螺纹连接有第一螺纹柱4，所述第一螺纹柱4下端固定连接有第一转轴5，所述第一转轴5下端固定连接有第一旋钮6，所述第一螺纹柱4上端螺纹连接有螺纹管7，所述螺纹管7侧面固定连接有L型顶杆8，所述盘体1内部开设有通槽9，所述L型顶杆8活动连接在通槽9内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津维普泰克科技发展有限公司 一种镀膜设备用加热盘
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