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一种硅片变距调节结构 

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摘要:本实用新型涉及硅片加工技术领域,具体涉及一种硅片变距调节结构,包括电机和惰轮组件,惰轮组件与电机连接,所述硅片变距调节结构还包括多个挡块组件和型材吸盘组件,挡块组件连接在惰轮组件中的同步带上,电机工作驱动惰轮组件转动,挡块组件跟随同步带运行,型材吸盘组件位于载板上,型材吸盘组件的吸盘吸附载板上的硅片,挡块组件运行与型材吸盘组件的上端接触,并推动吸附着硅片的型材吸盘组件运行。本实用新型运用电机和同步带结构变距,可以实现不等距的驱动及多通道长行程的复杂硅片变距,且变距结构简单。

主权项:1.一种硅片变距调节结构,包括电机1和惰轮组件2,惰轮组件2与电机1连接,其特征在于:所述硅片变距调节结构还包括多个挡块组件和型材吸盘组件,挡块组件连接在惰轮组件2中的同步带21上,电机1工作驱动惰轮组件2转动,挡块组件跟随同步带21运行,型材吸盘组件位于载板上,型材吸盘组件的吸盘14吸附载板上的硅片13,挡块组件运行与型材吸盘组件的上端接触,并推动吸附着硅片13的型材吸盘组件运行。

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