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摘要：本发明公开了一种承载硅片方式的石墨舟，包括石墨舟片、支撑装置以及硅片承载结构；支撑装置包括两组导电安装架，多片石墨舟片等间距平行安装在两组导电安装架之间；导电安装架包括正极连接部和负极连接部；在相邻两石墨舟片中，一片石墨舟片的两端均与正极连接部连接，另一片石墨舟片的两端均与负极连接部连接；硅片承载结构包括多根横向贯穿在石墨舟上的中心陶瓷杆以及设置在相邻两片石墨舟片之间的中心陶瓷套，中心陶瓷套套设在中心陶瓷杆上；中心陶瓷套的两端设有圆环槽，圆环槽与石墨舟片之间形成凹槽结构。该石墨舟能够极大地提高硅片承载结构的使用寿命，并且更换拆装简便，大大降低石墨舟的使用成本。
主权项：1.一种承载硅片方式的石墨舟，其特征在于，包括多片石墨舟片、支撑装置以及硅片承载结构；所述支撑装置包括两组导电安装架，所述多片石墨舟片等间距平行安装在所述两组导电安装架之间；所述导电安装架包括正极连接部和负极连接部，所述正极连接部与电源正极连接，所述负极连接部与电源负极连接；在相邻两石墨舟片中，其中一片石墨舟片的两端均与正极连接部连接，另一片石墨舟片的两端均与负极连接部连接；所述硅片承载结构包括多根横向贯穿在石墨舟上的中心陶瓷杆以及设置在相邻两片石墨舟片之间的中心陶瓷套，所述中心陶瓷套套设在所述中心陶瓷杆上；所述中心陶瓷套的两端设有圆环槽，该圆环槽与石墨舟片之间形成一个用于承载硅片的凹槽结构，所述凹槽结构用于夹住硅片的边缘；每个放置硅片的位置，均对应设置了三根中心陶瓷杆，与中心陶瓷杆对应，每个放置硅片的位置套设三个中心陶瓷套；所述硅片承载结构还包括中心螺母，所述中心陶瓷杆的两端设有用于与中心螺母匹配的螺纹，硅片承载结构安装时，中心螺母锁紧在中心陶瓷杆的两端，且抵紧在石墨外舟片的外侧；所述支撑装置还包括设置在石墨舟上的边缘陶瓷杆、套设在边缘陶瓷杆上的边缘陶瓷套以及边缘螺母；所述边缘陶瓷套设置在相邻两片石墨舟片之间，所述边缘陶瓷杆横向贯穿整个石墨舟，所述边缘螺母锁紧在边缘陶瓷套的两端，且抵紧在石墨外舟片的外侧。
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权利要求：
百度查询： 深圳市石金科技股份有限公司 一种承载硅片方式的石墨舟
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