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摘要：本发明公开了一种硅片体金属的检测方法，涉及硅片检测技术领域。该硅片体金属的检测方法通过钨钼合金锤对硅片试样进行破碎，不会引入新的金属元素，保证了硅片试样在制备过程中的纯净度，并且本发明通过两次清洗液的浸泡清洗，在第一清洗液中加入盐酸，在第二清洗液中加入双氧水，通过两次清洗液的清洗可以很好的去除表面的硅片表面的金属杂质和表面颗粒，也可去除轻微有机污染物及部分金属化污染物，从而提升硅片体金属的检测结果准确性，避免表面金属的干扰。同时本发明还对消解液和回收液进行限定，提高了硅片体金属的消解和溶解效果，提高了硅片体金属的检测精度。该方法填补了目前硅料下游产品硅片的基体检测的空白，易于推广。
主权项：1.一种硅片体金属的检测方法，其特征在于，其包括：S1、样品制备：利用钨钼合金锤对硅片试样进行破碎，随后对所述破碎样品进行研磨，得到样品；S2、样品前处理：将所述样品加入第一清洗液进行浸泡，再用超纯水清洗至中性；随后加入第二清洗液再次浸泡后，再用超纯水清洗至中性，烘干，得到预处理样品，所述第一清洗液包括超纯硝酸、盐酸和超纯水，所述第二清洗液包括超纯氢氟酸、双氧水和超纯水；S3、样品消解：对所述预处理样品加入消解液至所述预处理样品完全溶解，待消解反应完成后，加热蒸干，得到消解样品，所述消解液包括超纯硝酸和超纯氢氟酸；S4、样品检测：对所述消解样品中加入回收液进行溶解回收并定容，得到检测溶液，对所述检测溶液取样至电感耦合等离子体质谱仪中测定溶液中待分析金属元素的含量，所述回收液包括超纯硝酸、盐酸和超纯水。
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百度查询： 上海季丰技术有限公司 一种硅片体金属的检测方法
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