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一种硅片研磨液的搅拌装置 

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摘要:本实用新型公开了一种硅片研磨液的搅拌装置,属于硅片研磨液技术领域,该一种硅片研磨液的搅拌装置,包括储存机构,储存机构包括支撑件和储存仓,是储存仓通过仓体安装在支撑件上,搅拌机构,搅拌机构包括混合件和辅助混合件,混合件贯穿安装在仓体的内部一侧,辅助混合件贯穿安装在仓体的另一侧,且辅助混合件传动安装在混合件的内部,混合件和辅助混合件分别通过第一电机和第二电机传动,混合件配合辅助混合件对储存仓内部的研磨液进行快速混合,同时根据需要进行调节转速和转动的方向增加混合的效果,增加了搅拌的效率,提高了研磨液的质量,同时方便根据需要进行调节进混合,混合的模式较多。

主权项:1.一种硅片研磨液的搅拌装置,其特征在于,包括储存机构,所述储存机构包括支撑件和储存仓,是储存仓通过仓体安装在所述支撑件上;搅拌机构,所述搅拌机构包括混合件和辅助混合件,所述混合件贯穿安装在所述仓体的内部一侧,所述辅助混合件贯穿安装在所述仓体的另一侧,且所述辅助混合件传动安装在所述混合件的内部,所述混合件和所述辅助混合件分别通过第一电机和第二电机传动。

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