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一种清洗装置及硅片生产设备 

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摘要:本实用新型公开了一种清洗装置及硅片生产设备,包括蓄水池,所述蓄水池上固定安装有刷洗组件,所述刷洗组件包括两个毛刷辊,每个所述毛刷辊的两端均设置有安装板,每个所述安装板均与蓄水池两侧表面固定连接,每个所述毛刷辊转动安装于对应的两个安装板之间,两个所述毛刷辊均与驱动机构连接,所述蓄水池两侧表面还设有悬挂运送组件,所述蓄水池一端表面上连通设置有循环喷淋组件,通过设置两个可以同步转动的毛刷辊可以对硅片的两面进行同时刷洗,避免需要人工翻面造成的工作量增加,且配合着循环喷淋组件的冲淋,转动的毛刷辊也可以高效的对硅片表面的异物和灰尘进行刷扫,在提升清洗效率节约人工成本的同时也相对提升了清洗的效果。

主权项:1.一种清洗装置,其特征在于,包括蓄水池,所述蓄水池上固定安装有刷洗组件,所述刷洗组件包括两个毛刷辊,每个所述毛刷辊的两端均设置有安装板,每个所述安装板均与蓄水池两侧表面固定连接,每个所述毛刷辊转动安装于对应的两个安装板之间,两个所述毛刷辊均与驱动机构连接,所述蓄水池两侧表面还设有悬挂运送组件,所述蓄水池一端表面上连通设置有循环喷淋组件。

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