龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：宁波石墨烯创新中心有限公司
摘要：本发明公开了一种外延片结构及其制备方法。外延片结构：包括Si绝缘材料Si结构复合衬底，过渡层，过渡层上的缓冲层，缓冲层上方的沟道层，以及沟道层上方的势垒层。在生长完过渡层后，通过氧化或者氮化工艺，将过渡层与衬底中绝缘材料之间的硅材料层氧化或者氮化，形成二氧化硅或者氮化硅绝缘介质层。然后在过渡层的上方按照通常氮化物外延生长工艺依次生长缓冲层，沟道层以及势垒层。通过将外延层与衬底中绝缘材料之间的硅材料转变为绝缘二氧化硅或者氮化硅材料，可以有效提高氮化物外延片的耐压。
主权项：1.一种外延片结构，其特征在于，包括：复合衬底，过渡层，过渡层上的缓冲层，缓冲层上方的沟道层，以及沟道层上方的势垒层，所述复合衬底为Si绝缘材料SiO2结构或者Si绝缘材料Si3N4结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波石墨烯创新中心有限公司 一种外延片结构及其制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号