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申请/专利权人：武汉高芯科技有限公司
摘要：本发明涉及一种能减少表面宏观波纹的水平液相外延石墨舟，包括衬底板、母液板和母液盖板，所述母液板上设有母液槽、第一汞源保护槽以及位于母液板正面的第一汞挥发导槽，所述第一汞挥发导槽与所述第一汞源保护槽连通；所述衬底板上设有衬底槽；所述母液板与所述衬底板之间可相对活动，以致所述母液槽与所述衬底槽相对或分离。相应地还提供一种水平液相外延生长方法。本发明中，通过在母液板正面设置与第一汞源保护槽连通的第一汞挥发导槽，能够在外延生长工艺过程中使母液保持稳定的汞挥发量，有利于抑制母液的热对流，避免外延产品形成宏观波纹缺陷，改善外延产品的平整度。
主权项：1.一种能减少表面宏观波纹的水平液相外延石墨舟，包括衬底板、母液板和母液盖板，所述母液板设置在所述衬底板上，所述母液盖板盖合在所述母液板上，其特征在于：所述母液板上设有母液槽、第一汞源保护槽以及位于母液板正面的第一汞挥发导槽，所述第一汞挥发导槽与所述第一汞源保护槽连通；所述衬底板上设有衬底槽；所述母液板与所述衬底板之间可相对活动，以致所述母液槽与所述衬底槽相对或分离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉高芯科技有限公司 能减少表面宏观波纹的水平液相外延石墨舟以及水平液相外延生长方法
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