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申请/专利权人:江西耀驰科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司
摘要:本发明涉及半导体材料的技术领域,公开了一种正极性红外LED的外延结构及其制备方法,所述外延结构包括依次层叠设置的缓冲层、N‑AlGaAs电流扩展层、N‑AlGaAs限制层、多量子阱层、P‑AlGaAs限制层、P‑AlGaAs电流扩展层、P型GaAs欧姆接触层,P‑AlGaAs电流扩展层为C掺杂AlGaAs层和Mg掺杂AlGaAs层周期性交替层叠形成的超晶格,有利于将外延层的空穴分布得更加均匀,生长出高质量、高均匀性的外延层,提高LED芯片的良率,同时减少吸光,有效提高发光效率和发光强度。
主权项:1.一种正极性红外LED的外延结构,其特征在于,包括依次层叠设置的缓冲层、N-AlGaAs电流扩展层、N-AlGaAs限制层、多量子阱层、P-AlGaAs限制层、P-AlGaAs电流扩展层、P型GaAs欧姆接触层;其中,所述P-AlGaAs电流扩展层为C掺杂AlGaAs层和Mg掺杂AlGaAs层周期性交替层叠形成的超晶格,周期数为33~150,每个周期中,所述C掺杂AlGaAs层位于所述Mg掺杂AlGaAs层的下方。
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