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氢化物气相外延用的浮舟及浮舟装置 

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申请/专利权人:苏州纳维科技有限公司

摘要:本发明提供一种氢化物气相外延用的浮舟及浮舟装置,其中,所述氢化物气相外延用的浮舟包括:舟体、连接于所述舟体上的进气管;所述舟体内部具有气体输送通道,该气体输送通道的进气口和出气口延伸至所述舟体的表面上,所述出气口为至少一个,所述进气管一端与所述进气口相连通;所述舟体能够浮在液体生长源中,其排开的生长源的重量=舟体沉入液体生长源中的重量,所述舟体沉入液体生长源中的深度为固定值,所述出气口距离液体生长源的液面的距离,随液体生长源的液面的变化,保持固定。本发明的氢化物气相外延用的浮舟能够浮在液体生长源的表面,随着反应的进行,跟随液体生长源的液面下降,保证了氯化氢与液体生长源的充分反应。

主权项:1.一种氢化物气相外延用的浮舟,其特征在于,所述氢化物气相外延用的浮舟包括:舟体、连接于所述舟体上的进气管;所述舟体内部具有气体输送通道,该气体输送通道的进气口和出气口延伸至所述舟体的表面上,所述出气口为至少一个,所述进气管一端与所述进气口相连通;所述舟体能够浮在液体生长源中,所述舟体沉入液体生长源中的深度为固定值,所述出气口距离液体生长源的液面的距离,随液体生长源的液面的变化,保持固定;所述舟体为一圆盘,所述进气口位于所述圆盘的顶面,所述出气口位于所述圆盘的侧面,所述浮舟的材质为石英。

全文数据:

权利要求:

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