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申请/专利权人:上海交通大学
摘要:本发明提供了一种声表面波谐振器件,包括:器件叉指电极层、压电层、反射器层以及支撑基底层;反射器层设置在支撑基底层上,压电层设置在反射器层上,器件叉指电极层设置在压电层上;反射器层包括叠加设置的低声阻抗层和高声阻抗层。本发明具有高频率、高品质因数、高功率耐受性、低温度系数、低带外杂模的特点,在通讯领域有巨大的应用前景。
主权项:1.一种声表面波谐振器件,其特征在于,包括:器件叉指电极层1、压电层2、反射器层3以及支撑基底层4;所述反射器层3设置在所述支撑基底层4上,所述压电层2设置在所述反射器层3上,所述器件叉指电极层1设置在所述压电层2上;所述反射器层3包括叠加设置的低声阻抗层301和高声阻抗层302。
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权利要求:
百度查询: 上海交通大学 声表面波谐振器件及滤波器
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