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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要：本发明公开了一种高频大带宽的高性能声表面波滤波器，包括电极结构层、压电薄膜层和衬底层，还包括高声速层；所述高声速层位于所述电极结构层和所述压电薄膜层之间，且所述高声速层采用声速高、散热性好的材料制备而成；所述电极结构层位于所述压电薄膜层表面。本发明所涉及结构的声速大于6000ms，在频率大于6.3GHz情况下，Q值大于3000，相对带宽可达9.3%~10.2%，因此，本发明能获得声速和Q值高于常规衬底结构的声波模式，利用激励的高声速和高Q值声波模式实现超高频、低损耗的高性能声表面波滤波器的设计。
主权项：1.一种高频大带宽的高性能声表面波滤波器，包括电极结构层、压电薄膜层和衬底层，其特征在于，还包括高声速层；所述高声速层位于所述电极结构层和所述压电薄膜层之间，且所述高声速层采用声速高、散热性好的材料制备而成；所述电极结构层位于所述压电薄膜层表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第二十六研究所 一种高频大带宽的高性能声表面波滤波器
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