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申请/专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
摘要：本申请涉及一种声表面波谐振器及其制造方法，声表面波谐振器包括压电层和电极单元，压电层的第一表面上具有中心区域，中心区域上设有声波漫反射区，声波漫反射区向压电层的内部凹陷，电极单元设置在压电层的第一表面上，电极单元包括第一汇流条、平行于第一汇流条的第二汇流条、从第一汇流条向第二汇流条延伸的多条第一电极指，从第二汇流条向第一汇流条延伸的多条第二电极指，第一电极指的端面与中心区域的端面间具有第一距离，第二电极指的端面与中心区域的端面间具有第二距离；本申请的声表面波谐振器，通过在压电层的中心区域上制备声波漫反射区，使声波漫反射区可有效阻断声表面波在孔径方向上的泄露路径，从而达到横模抑制的目的。
主权项：1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：压电层，所述压电层的第一表面上具有中心区域，所述中心区域上设有声波漫反射区，所述声波漫反射区向所述压电层的内部凹陷；电极单元，所述电极单元设置在所述压电层的第一表面上，所述电极单元包括第一汇流条、平行于所述第一汇流条的第二汇流条、从所述第一汇流条向所述第二汇流条延伸的多条第一电极指，以及从所述第二汇流条向所述第一汇流条延伸的多条第二电极指；所述第一电极指的端面与所述中心区域的端面间具有第一距离，所述第二电极指的端面与所述中心区域的端面间具有第二距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏卓胜微电子股份有限公司 声表面波谐振器及其制造方法
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