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申请/专利权人：VIAVI科技有限公司
摘要：一种光学干涉滤波器200包括基板205和设置在基板205上的一个或多个层集合210。每个层集合210包括至少包括钪、铝和氮的第一层215以及至少包括硅和氧的第二层220。第一层215可以包括氮化钪铝ScAlN材料或钪铝氮氧化物ScAlNO材料中的至少一种。第二层220可以包括氢化硅Si:H材料。一个或多个层集合210的净应力的绝对值可以小于或等于50兆帕。
主权项：1.一种光学干涉滤波器，包括：基板；以及多个层集合，设置在所述基板上，其中每个层集合包括：第一层，至少包括钪、铝和氮；以及第二层，至少包括硅和氧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： VIAVI科技有限公司 光学干涉滤波器
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