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申请/专利权人：凯德芯贝(沈阳)石英有限公司
摘要：本发明涉及一种半导体芯片边缘向心气相外延用石英支架，属于半导体芯片气相外延技术领域，石英支架包括底盘、支块、盘罩、盖板和环套；底盘的上面放置有支块，盘罩盖合于底盘上，盘罩的顶面设置有截面为“U”形的凹槽，凹槽的侧壁均布有若干个通气孔；盖板盖封凹槽；支块用于支撑晶圆；盖板中心开设有适配孔，用于套设于石英管喷嘴外壁；盘罩的外壁套设有环套。本发明的石英支架结构能够很好的均布气流，并约束气流从晶圆的边缘流向中心，且顺利排出，降低气流紊乱，降低污染风险；设计环套对红外进行反射，加快气相外延层的生成速度；各组件配合使用能够保证晶圆边缘向心气相外延的质量，晶型向心生长均匀，粗糙度低，缺陷少，位错密度低。
主权项：1.一种半导体芯片边缘向心气相外延用石英支架，其特征在于，石英支架包括支架主体和盖板（4），所述支架主体包括底盘（1）、支块（2）和盘罩（3）；所述底盘（1）的上面放置有支块（2），所述盘罩（3）盖合于底盘（1）上，所述盘罩（3）的顶面设置有截面为“U”形的凹槽（3.1），所述凹槽（3.1）的侧壁均布有若干个通气孔（3.2）；所述盖板（4）盖封凹槽（3.1）；所述支块（2）用于支撑晶圆（7）；所述盖板（4）中心开设有适配孔，用于套设于石英管喷嘴（6）外壁；所述底盘（1）的边缘向上突出有凸边（1.2），用于与盘罩（3）卡合；所述盘罩（3）的外壁套设有环套（5）。
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