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申请/专利权人：江苏鸣熙石英制品有限公司
申请日：2023-11-25
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN221268169U
主分类号：B01L3/04
分类号：B01L3/04
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.05#授权
摘要：本实用新型是一种半导体级石英坩埚，包括锅体，锅体口部设有盖体，盖体包括分别成两半设置的固定盖和活动盖，固定盖上设有气体出口，锅体上部设有注料口，锅体底部成椭圆状，锅体底部设有排料口，排料口上设有排料管，排料管上设有排料阀，锅体下方还设有自动加热锅体的加热装置。本石英坩埚自带加热装置，实用方便，加热温度可控，加热效率，石英坩埚内的物质能被及时加热到预定温度，而且坩埚内通过加热上部聚集的挥发物质，能及时分离，等石英坩埚使用结束后，通过排液管道可排尽其中的残留液体，注料管内伸到锅体底部，管下端成斜切状，注入液体物料时不会对石英坩埚内壁造成冲击和压力。
主权项：1.一种半导体级石英坩埚，其特征在于：包括锅体4，锅体口部设有盖体，盖体包括分别成两半设置的固定盖7和活动盖5，固定盖上设有气体出口8，锅体上部设有注料口9，锅体底部成椭圆状，锅体底部设有排料口3，排料口上设有排料管301，排料管上设有排料阀302，锅体下方还设有自动加热锅体的加热装置104。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏鸣熙石英制品有限公司 一种半导体级石英坩埚
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