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申请/专利权人：东旭药玻(北京)科技有限公司;东旭科技集团有限公司
摘要：本申请提供一种坩埚、坩埚组件以及铂金通道结构，涉及铂金通道环境调节技术领域。该坩埚包括盖体和埚体。埚体设置有开口，盖体封闭开口，盖体和埚体沿第一方向排布，埚体的外周壁设置有凹陷部，凹陷部包括第一槽和多个第二槽，多个第二槽沿第一方向延伸，多个第二槽沿第二方向间隔排布，多个第二槽中，至少一者延伸至贯穿盖体，第一槽连通多个第二槽的沿第一方向的同一侧，第一方向垂直于第二方向。凹陷部包括多个第二槽，并且多个第二槽间隔排布，增加了蒸发介质蒸发时的覆盖面积，提高了蒸发介质的扩散均匀度。
主权项：1.一种坩埚，其特征在于，包括：盖体1；埚体2，设置有开口，所述盖体1封闭所述开口，所述盖体1和所述埚体2沿第一方向排布，所述埚体2的外周壁设置有凹陷部6，所述凹陷部6包括第一槽61和多个第二槽62，多个所述第二槽62沿所述第一方向延伸，多个所述第二槽62沿第二方向间隔排布，多个所述第二槽62中，至少一者延伸至贯穿所述盖体1，所述第一槽61连通多个所述第二槽62的沿所述第一方向的同一侧，所述第一方向垂直于第二方向。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东旭药玻(北京)科技有限公司 东旭科技集团有限公司 坩埚、坩埚组件以及铂金通道结构
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