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一种单晶炉石墨坩埚提升装置 

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申请/专利权人:连城凯克斯科技有限公司

摘要:本发明属于单晶炉技术领域,具体的说是一种单晶炉石墨坩埚提升装置,包括提升结构,提升结构的外侧设有炉体,炉体的内部从下往上依次设有提升结构、坩埚、调节装置、入料结构和导流筒;入料结构包括:储料筒,储料筒设在炉体的侧壁,储料筒的内部用于放置多晶硅;输送管道,输送管道设在储料筒的下端,且输送管道与储料筒相连通,输送管道的另一端伸至储料筒的内部;提升结构包括:抬升轴。通过设置调节装置,可以使坩埚在抬升的过程中,将坩埚的降温与下一次使用的多晶硅原料进行预热处理同步进行,使得在进行下一次的硅单晶生产,需要将坩埚进行抬升时,不仅此时多晶硅原料已经预热完成,且坩埚也已经进行了降温处理。

主权项:1.一种单晶炉石墨坩埚提升装置,其特征在于:包括提升结构(2),该石墨坩埚提升装置设在炉体(1)的内部,所述炉体(1)的内部从下往上依次设有提升结构(2)、坩埚(4)、调节装置(5)、入料结构(3)和导流筒(6);所述入料结构(3)包括:储料筒(31),所述储料筒(31)设在炉体(1)的侧壁,储料筒(31)的内部用于放置多晶硅;输送管道(32),所述输送管道(32)设在储料筒(31)的下端,且输送管道(32)与储料筒(31)相连通,输送管道(32)的另一端伸至储料筒(31)的内部;所述提升结构(2)包括:抬升轴(21),所述抬升轴(21)在炉体(1)的底部滑动;托盘(22),所述托盘(22)固定连接在抬升轴(21)的上表面,且托盘(22)的上表面放置有坩埚(4);所述调节装置(5)包括:放料框(504),所述放料框(504)设在炉体(1)的内部靠近导流筒(6)的一端,且放料框(504)的底部为倾斜状,放料框(504)的内壁底部开设有一周槽口;料槽口(505),所述放料框(504)的内部开设有料槽口(505),料槽口(505)设在输送管道(32)的下方;阻挡环(511),所述阻挡环(511)在放料框(504)的内壁滑动,且阻挡环(511)的初始位置位于放料框(504)内壁底部槽口的位置,且阻挡环(511)与槽口抵接;连接臂(501),所述连接臂(501)的一端套在抬升轴(21)的圆弧面;第一螺杆(502),所述第一螺杆(502)转动连接在炉体(1)的内部靠近抬升轴(21)的一端,且连接臂(501)的另一端与第一螺杆(502)相啮合;连接辊(503),所述连接辊(503)固定连接在第一螺杆(502)的上端;齿轮扣(507),所述齿轮扣(507)固定连接在连接辊(503)的圆弧面;第二螺杆(520),所述放料框(504)靠近阻挡环(511)的一侧转动连接有第二螺杆(520),且第二螺杆(520)与阻挡环(511)相啮合;啮合齿轮套(521),所述第二螺杆(520)的下端圆弧门固定连接有啮合齿轮套(521);转动框架(508),所述转动框架(508)转动连接在放料框(504)的下端;抵接齿扣(513),若干个所述抵接齿扣(513)设在转动框架(508)的内部,且抵接齿扣(513)与啮合齿轮套(521)相啮合,抵接齿扣(513)与齿轮扣(507)相啮合;移动槽(512),所述放料框(504)内壁靠近阻挡环(511)的一端开设有移动槽(512);滑动块(517),所述滑动块(517)设在阻挡环(511)的侧壁靠近放料框(504)的一端,且滑动块(517)在移动槽(512)的内壁滑动;通气口(506),所述放料框(504)的内壁开设有通气口(506);出气弧形抵接条(509),所述放料框(504)的内壁靠近通气口(506)的一端滑动连接有出气弧形抵接条(509);入气弧形抵接条(526),所述放料框(504)的内壁靠近第二螺杆(520)的一端滑动连接有入气弧形抵接条(526),且出气弧形抵接条(509)与入气弧形抵接条(526)的初始位置将盖住通气口(506);啮合齿轮轴(510),所述放料框(504)的内部转动连接有啮合齿轮轴(510),且啮合齿轮轴(510)与出气弧形抵接条(509)和入气弧形抵接条(526)二者均啮合。

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