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申请/专利权人：武汉大学
摘要：本发明涉及合涂层材料的技术领域，具体涉及一种耐温耐磨智能螺栓用AlCrNAlScN纳米复合压电涂层及其制备方法，所述AlCrNAlScN纳米复合压电涂层采用梯度层结构，由内至外包括依次设置的结合层、过渡层、压电功能层和保护层，结合层为纯金属AlCr合金层，过渡层为AlCrAlCrN纳米多层膜，压电功能层为AlCrNAlScN纳米多层膜，保护层为AlCrON涂层。本发明的复合压电涂层具有抗腐蚀、高耐磨和高韧性的特点，可以保证压电涂层长期稳定的在智能螺栓表面工作，减少腐蚀等导致的失效可能性。采用的溅射技术为工业上的通用技术，工业生产批量容易实现，加工效率较高，可以大幅度降低厂家的生产成本。
主权项：1.一种耐温耐磨智能螺栓用AlCrNAlScN纳米复合压电涂层，其特征在于：所述AlCrNAlScN纳米复合压电涂层采用梯度层结构，由内至外包括依次设置的结合层、过渡层、压电功能层和保护层，结合层为纯金属AlCr合金层，过渡层为AlCrAlCrN纳米多层膜，压电功能层为AlCrNAlScN纳米多层膜，保护层为AlCrON涂层；所述过渡层的厚度为400-1500纳米，其中AlCr单层厚为10-30纳米，AlCrN单层厚度为10-40纳米，调制周期为20-70纳米；所述压电功能层的厚度为3000-14000纳米，其中AlCrN单层厚为5-10纳米，AlScN单层厚度为5-20纳米，调制周期为5-30纳米。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉大学 一种智能螺栓用AlCrN/AlScN纳米复合压电涂层及其制备方法
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