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申请/专利权人：武汉大学
摘要：本发明提供一种高力学性能和高耐温性能的AlScN压电涂层材料的制备方法，包括：采用Al和Sc组成的合金靶材，通过磁控溅射在基体表面形成AlScN压电功能层；通过控制磁控溅射中，氩气和氮气体积比、温度、溅射功率、沉积气压以及靶基距，使AlScN压电功能层在沉积过程中呈多种取向生长。本发明制得的AlScN压电涂层材料具有良好的力学性能、耐温性能和抗腐蚀性能，将该涂层材料沉积于基体上，不仅能同时激发出纵波、纵横波、横波实现多种介质中钢板、焊缝、钢管的缺陷检测和应力测量，而且在无需保护层的前提下，在高温和恶劣工况下具有长期稳定的服役能力，满足长期使用需求，易于批量生产，具备推广及应用前景。
主权项：1.一种高力学性能和高耐温性能的AlScN压电涂层材料的制备方法，其特征在于，包括：采用Al和Sc组成的合金靶材，通过磁控溅射在基体表面形成AlScN压电功能层；所述磁控溅射中，温度为100～250℃，通入氩气和氮气体积比为3:1～1:3的混合气体，溅射功率为700～900W，沉积气压P＝0.4～3.0Pa，靶基距d＝40～80mm，沉积时间为3～10h。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉大学 高力学性能和高耐温性能的AlScN压电涂层材料及其制备方法与应用
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